[实用新型]光栅栅距实时在线测量装置有效
| 申请号： | 201220256338.X | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN202770411U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 常丽 | 申请（专利权）人： | 沈阳工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14;G01B11/02 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人： | 宋铁军;周智博 |
| 地址： | 110870 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光栅栅距实时在线测量装置，在测量过程中，高速高精度同步数据采集系统同时采集光栅输出的四路莫尔条纹信号，由任意两路信号之间的距离和渡越时间获得传感器的运行速度。栅距的周期时间测量是首先准确识别光栅输出的周期性莫尔条纹信号的两个相邻峰值点，然后测量两个峰值点之间的时间。通过时间与速度乘积获得每个栅距值。该实用新型能够测量出每个栅距的准确值，具有速度快、实时在线、准确性高、重复性好、实用性强、全自动等特点，为光栅位移精密测控中每个栅距累积误差修正提供准确依据，可应用在大量程位移精密测控、光栅传感器质量检测和其它栅距常数测量领域。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 实时 在线 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种光栅栅距实时在线测量装置，其特征在于：该装置主要包括精密工作台（1）、电机（2）和控制器（4）；光栅传感器安装在精密工作台（1）上，光栅传感器通过数据采集系统（5）连接至控制器（4），控制器（4）通过驱动器（3）连接至电机（2），电机（2）连接至精密工作台（1）。
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