[实用新型]双摆臂式直驱固晶机有效
| 申请号： | 201220257299.5 | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN202651079U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 梁国康;梁国城;唐军成;卢炳昌;王燕 | 申请（专利权）人： | 先进光电器材(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L33/00 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双摆臂式直驱固晶机，包括旋转电机、连接于旋转电机输出端的摆臂连接板、安装于摆臂连接板上的两组相背设置的摆臂机构；摆臂机构包括摆臂座、固定于摆臂座中的音圈马达定子、通过一竖直设置的第三导轨与摆臂座连接的滑块、固定于滑块上并与音圈马达定子相适配的音圈马达动子、固定于滑块上的摆臂；音圈马达定子与音圈马达动子配合驱动滑块沿第三导轨相对于摆臂座做升降运动；摆臂座由摆臂连接板带动旋转而使整个摆臂机构旋转。本实用新型通过简单的连接关系可实现对摆臂旋转运动及上下运动的同时驱动，控制精度高，固晶机中设有两组相背安装的摆臂机构，能同时进行取晶和固晶过程，缩短工作周期，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 双摆臂式直驱固晶机 | ||
【主权项】：
一种双摆臂式直驱固晶机，其特征在于，包括旋转电机、连接于旋转电机输出端的摆臂连接板、安装于摆臂连接板上的两组相背设置的摆臂机构；所述摆臂机构包括摆臂座、固定于摆臂座中的音圈马达定子、通过一竖直设置的第三导轨与摆臂座连接的滑块、固定于滑块上并与音圈马达定子相适配的音圈马达动子、固定于滑块上的摆臂；音圈马达定子与音圈马达动子配合驱动滑块沿所述第三导轨相对于摆臂座做升降运动；摆臂座由摆臂连接板带动旋转而使整个摆臂机构旋转。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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