[实用新型]一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置有效
申请号: | 201220258517.7 | 申请日: | 2012-06-01 |
公开(公告)号: | CN202705566U | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 樊海艳 | 申请(专利权)人: | 沈阳森之洋光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 俞鲁江 |
地址: | 110141 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置,将加热笼内设置有一隔温门,该隔温门将加热笼分为上下两个腔室;所述上腔室为加热室,于上腔室内顶部设有上加热器,中部设有坩埚,下部设有下加热器,用于对坩埚内的硅料快速熔化;所述下腔室为制冷室,于下腔室内底部设有换热装置,用于对坩埚匀速、均匀降温,以便实现多晶硅均匀定向生长。该装置结构简单,操作方便,通过隔热门,巧妙地将炉内冷热分隔开,形成上下温度梯度,通过控制隔热门的开口大小、速度来控制多晶硅的冷却速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 铸锭 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置,其特征在于:将加热笼内设置有一隔温门,该隔温门将加热笼分为上下两个腔室;所述上腔室为加热室,于上腔室内顶部设有上加热器,中部设有坩埚,下部设有下加热器,用于对坩埚内的硅料快速熔化;所述下腔室为制冷室,于下腔室内底部设有换热装置,用于对坩埚匀速、均匀降温,以便实现多晶硅均匀定向生长。
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