[实用新型]直流磁控装置转速探测装置及物理气相沉积系统有效
| 申请号： | 201220262649.7 | 申请日： | 2012-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN202595263U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 周琦;李秀军;桂鲲;袁洪 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/52;G01P3/44 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直流磁控装置转速探测装置，用于探测直流磁控装置中的磁体的转速，包括磁体转速侦测器、微处理器以及电池，所述磁体转速侦测器相对所述直流磁控装置的磁体设置，所述磁体转速侦测器与所述微处理器连接，所述电池与所述微处理器连接。还公开了一种物理气相沉积系统，包括直流磁控装置，还包括如上所述的直流磁控装置转速探测装置。本实用新型通过设置磁体转速侦测器、微处理器以及电池，所述磁体转速侦测器相对所述直流磁控装置的磁体设置，所述磁体转速侦测器与所述微处理器连接，所述电池与所述微处理器连接，可以实现对直流磁控装置转速的实时监控，避免因直流磁控装置转速超出规定范围而引起产品报废，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 直流 装置 转速 探测 及物 理气 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种直流磁控装置转速探测装置，用于探测直流磁控装置中磁体的转速，其特征在于，包括磁体转速侦测器、微处理器以及电池，所述磁体转速侦测器相对所述直流磁控装置的磁体设置，所述磁体转速侦测器与所述微处理器连接，所述电池与所述微处理器连接。
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