[实用新型]硅片隧道烘箱有效
| 申请号： | 201220274364.5 | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN202734449U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 李继忠 | 申请（专利权）人： | 常州市科沛达超声工程设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B21/02 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213025 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片隧道烘箱，包括保温箱体，保温箱体的左、右两侧开有相贯通的开口，保温箱体上固定有带输送链条的链输送装置，输送链条穿过两开口，所述的保温箱体内上部设有多个出风口，保温箱体内设有热辐射加热装置，且热辐射加热装置位于出风口下方，保温箱体内下部设有进风口，所述的保温箱体外设有循环风装置，循环风装置的吸风口与保温箱体的出风口相连通，循环风装置的吹风口与保温箱体的进风口相连通。本实用新型能提高加热效率，加热均匀并且能保证硅片烘干质量。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 隧道 烘箱 | ||
【主权项】：
一种硅片隧道烘箱，包括保温箱体（1），保温箱体（1）的左、右两侧开有相贯通的开口，保温箱体（1）上固定有带输送链条（2）的链输送装置，输送链条（2）穿过两开口，其特征在于：所述的保温箱体（1）内上部设有多个出风口（1‑1），保温箱体（1）内设有热辐射加热装置（3），且热辐射加热装置（3）位于出风口（1‑1）下方，保温箱体（1）内下部设有进风口（1‑2），所述的保温箱体（1）外设有循环风装置（4），循环风装置（4）的吸风口与保温箱体（1）的出风口（1‑1）相连通，循环风装置（4）的吹风口与保温箱体（1）的进风口（1‑2）相连通。
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