[实用新型]一种双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测系统有效
| 申请号： | 201220275141.0 | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN202599977U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 丑若帆;刘明月;张冬仙;章海军 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测系统。采用样品固定、双管扫描器扫描微探针并且联动跟踪光束的方法，实现样品微纳米结构的原子力显微探测与扫描成像。它具有由双管扫描器、探针座、微探针、L形结构、联动透镜、激光器、光电位置探测器、样品、样品台等组成的双管扫描器联动跟踪型AFM探测头，以及由前置放大器、扫描与反馈控制单元、计算机等组成的扫描成像与反馈控制系统。本实用新型的优点是：样品尺寸和重量不受限制；与双管扫描器联动的光路系统，有效实现扫描时的光束跟踪；反射光路与Z反馈运动方向一致，避免反馈导致的伪信号及AFM图像失真；上下双层结构、相互正交二等分的双管扫描器，消除了耦合产生的图像畸变。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双管 扫描器 联动 跟踪 原子 显微 探测 系统 | ||
【主权项】：
一种双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测系统，其特征在于包括双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测头（1）、前置放大器（2）、扫描与反馈控制单元（3）、硬件接口（4）、计算机（5）和显示器（6）；前置放大器（2）与光电位置探测器（13）及扫描与反馈控制单元（3）连接，扫描与反馈控制单元（3）与双管扫描器（14）、硬件接口（4）相连，硬件接口（4）与计算机（5）连接，计算机（5）与显示器（6）连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220275141.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
