[实用新型]蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置有效
| 申请号： | 201220277715.8 | 申请日： | 2012-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN202640580U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 肖兵;胡海平;张会选;程兴发;林维;叶洪君 | 申请（专利权）人： | 四川欣蓝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 成实 |
| 地址： | 620000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，解决了现有技术中存在的减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度差的方式花费时间较长，同心度重复性较差，不利于批量生产的问题。该蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置包括晶圆棒毛坯套筒，与晶圆棒毛坯套筒中心同轴且上下相连的夹持装置套筒，所述夹持装置套筒上还设置有紧固螺栓。本实用新型不仅结构简单、实施方便，而且能实现快速精确定位，具有很高的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 晶圆棒 滚圆 中心 定位 装置 | ||
【主权项】：
蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，其特征在于，包括晶圆棒毛坯套筒（1），与晶圆棒毛坯套筒（1）中心同轴且上下相连的夹持装置套筒（2），设置于夹持装置套筒（2）上的紧固螺栓（3）。
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