[实用新型]双级混合式罗茨真空泵

摘要

本实用新型属于泵技术领域，具体涉及一种双级混合式罗茨真空泵，包括电机、联轴器、前盖、后盖和泵体，泵体中设置中间隔板和一对平行安装的主动转子轴、从动转子轴，电机通过联轴器与主动转子轴相连，主动转子轴通过同步齿轮与从动转子轴连接，泵体由中间隔板分隔成前、后两个腔室，中间隔板上设有连接通道，每个腔室中设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴和从动转子轴上，后腔室上设有冷气进口，后腔室的排气口连接换热器的进口，换热器的出口通过返气管路与后腔室的冷气进口连通。本真空泵将一级罗茨真空泵与气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高了泵的极限真空度，结构紧凑、占用空间小且能耗小，节能效果明显。

主权项

一种双级混合式罗茨真空泵，包括电机、联轴器（1）、前盖（2）、后盖（5）和泵体（3），其特征在于：泵体（3）中设置中间隔板（13）和一对平行安装的主动转子轴（9）、从动转子轴（17），电机通过联轴器（1）与主动转子轴（9）相连，主动转子轴（9）通过同步齿轮（15、16）与从动转子轴（17）连接，泵体（3）由中间隔板（13）分隔成前、后两个腔室，中间隔板（13）上设有连接通道（12），每个腔室中设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴（9）和从动转子轴（17）上，后腔室（19）上设有冷气进口（22），后腔室（19）的排气口（6）连接换热器（8）的进口，换热器（8）的出口通过返气管路（7）与后腔室（19）的冷气进口（22）连通。