[实用新型]大尺寸CZ直拉单晶炉真空泵的避震装置

摘要

本实用新型公开了一种大尺寸CZ直拉单晶炉真空泵的避震装置，包括槽钢支架和避震模块，所述的避震模块分为上、中、下避震模块，所述的上避震模块包括有聚乙烯树脂棒，所述的下避震模块包括有避震橡胶垫，所述的中间避震模块包括有四个避震弹簧和八个固定弹簧，每两个上、下固定弹簧之间固定一避震弹簧。本实用新型采用三层避震方式，添加了避震弹簧作为中间避震模块的主材料，使缓冲震动的幅度不一样不会形成共振频率，达到层层缓冲，震动层层降低，最后达到很好的避震效果，最大化的避免震动对晶体生产的影响。

主权项

一种大尺寸CZ直拉单晶炉真空泵的避震装置，包括槽钢支架和避震模块，所述的避震模块分为上避震模块和下避震模块，所述的上避震模块包括有四根圆形的聚乙烯树脂棒，用螺杆固定在所述的槽钢支架与真空泵之间，所述的下避震模块包括有四个避震橡胶垫，直接置于所述的槽钢支架与地基之间，其特征在于：所述的避震模块还包括中间避震模块，所述的中间避震模块包括有四个避震弹簧和八个固定弹簧，所述的固定弹簧每两个为一组，分为上、下固定弹簧，上、下固定弹簧的一端分别固定在所述的槽钢支架内的上、下支架的两端，每两个上、下固定弹簧之间固定一避震弹簧。