[实用新型]立式镀膜设备

摘要

本实用新型涉及一种板材涂层加工设备，尤其是一种立式往复卷绕连续真空镀膜加工设备。包括立式壳体，所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部下方，所述的第一收放卷和第二收放卷上方分别设置第一导向辊和第二导向辊，所述的浮动辊设于第一收放卷、第二收放卷、第一导向辊和第二导向辊之间的位置，所述的封闭舱设于金属板材由第一导向辊经浮动辊到第二导向辊形成的U形路径范围中，金属板材由第一收放卷经第一导向辊到浮动辊形成的U形路径范围中和金属板材由浮动辊经第一导向辊到第二收放卷形成的U形路径范围中分别设置一组靶材。本实用新型内部部件的结构紧凑，整机体积小巧，运行过程持续稳定可控，适用于多种镀膜基材和镀膜工艺，极大的提高了镀膜设备的兼容性。

主权项

一种立式镀膜设备，其特征在于，包括：壳体，壳体内部设有容置空间；第一收放卷，设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材；第二收放卷，设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上；靶材，分别设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜；浮动辊，设于金属板材的运行路径上用于提供金属板材的恒定的张紧度；其中，所述的壳体为立式壳体，所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部下方，所述的第一收放卷和第二收放卷上方分别设置第一导向辊和第二导向辊，所述的浮动辊设于第一收放卷、第二收放卷、第一导向辊和第二导向辊之间的位置，所述的封闭舱设于金属板材由第一导向辊经浮动辊到第二导向辊形成的U形路径范围中，金属板材由第一收放卷经第一导向辊到浮动辊形成的U形路径范围中和金属板材由浮动辊经第一导向辊到第二收放卷形成的U形路径范围中分别设置一组靶材。