[实用新型]一种MEMS可重构微波定向耦合器

摘要

本实用新型公开了一种小型MEMS可重构微波定向耦合器，包括基片、接地平面、输入端口、输出端口、隔离端口、耦合端口、平行耦合微带线、附加不对称耦合线、四个MEMS开关、四个MEMS开关下电极、四个MEMS开关偏置电压输入端口、金属浮片、加载介质层和四个阻抗调配段。工作时，改变MEMS开关的“开”、“关”状态，可实现端口的可重构。本实用新型具有耦合较强和可重构等优点。

主权项

一种MEMS可重构微波定向耦合器，其特征在于，包括基片（1）、接地平面（2）、输入端口（10）、输出端口（11）、隔离端口（12）、耦合端口（13）、平行耦合微带线（20，21）、附加不对称耦合线（30，31）、四个MEMS开关（41，42，43，44）、四个MEMS开关下电极（51，52，53，54）、四个MEMS开关偏置电压输入端口（61，62，63，64）、金属浮片（7）、加载介质层（8）和四个阻抗调配段（91，92，93，94）；所述第一平行耦合微带线（20）、第一附加不对称耦合线（30）、第二附加不对称耦合线（31）与第二平行耦合微带线（21）依次等距离平行设置在所述基片（1）上；所述第一平行耦合微带线（20）、第一附加不对称耦合线（30）、第二附加不对称耦合线（31）与第二平行耦合微带线（21）的上方覆盖有所述加载介质层（8），所述加载介质层（8）的上方设置有金属浮片（7）；所述输入端口（10）通过所述第一阻抗调配段（91）与所述第一平行耦合微带线（20）的左端连接；所述输出端口（11）通过所述第二阻抗调配段（92）与所述第一平行耦合微带线（20）的右端连接；所述隔离端口（12）通过所述第三阻抗调配段（93）与所述第二平行耦合微带线（21）的左端连接；所述耦合端口（13）通过所述第四阻抗调配段（94）与所述第二平行耦合微带线（21）的右端连接；所述第一MEMS开关（41）连接所述第一平行耦合微带线（20）的左端与所述第一附加不对称耦合线（30）的左端；所述第二MEMS开关（42）连接所述第一平行耦合微带线（20）的右端与所述第一附加不对称耦合线（30）的右端；所述第三MEMS开关（43）连接所述第二平行耦合微带线（21）的左端与所述第二附加不对称耦合线（31）的左端；所述第一MEMS开关（44）连接所述第二平行耦合微带线（21）的右端与所述第二附加不对称耦合线（31）的右端；所述四个MEMS开关（41，42，43，44）分别通过所述MEMS开关下电极（51，52，53，54）与所述MEMS开关偏置电压输入端口（61，62，63，64）连接；所述接地平面（2）设置在所述基片（1）的下表面。