[实用新型]一种光伏太阳能硅片上料设备及其系统有效
申请号: | 201220293246.9 | 申请日: | 2012-06-21 |
公开(公告)号: | CN202651081U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 尹周平;权建洲;关政强;潘艳桥;熊有伦 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学;武汉市微格能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 朱仁玲 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光伏太阳能硅片上料设备,包括:机架;安装在机架上用于将硅片沿着X轴方向输送路径可调换方向地输送至下位机的硅片输送机构;分别设置在输送路径的两侧用于贮存硅片的料盒;处于输送路径的上方,通过Y轴和Z轴方向的移动拾取硅片并将其释放至输送路径上执行输送的机械手,该机械手还具备硅片分离装置,由此在拾取硅片的过程中使得相邻硅片予以分离以便逐一拾取;用于对整体工况提供控制指令的电气控制系统;以及根据电气控制系统的控制指令对相应功能元件执行驱动的气动模块。本实用新型还公开了相应的上料系统。通过本实用新型,能够取得上料效率高、降低硅片破损率以及灵活设定传送方向等方面的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 设备 及其 系统 | ||
【主权项】:
一种光伏太阳能硅片上料设备,其特征在于,该上料设备包括:机架(100);硅片输送机构(300),该硅片输送机构(300)安装在机架(100)上,用于将光伏太阳能硅片沿着X轴方向的输送路径可调换方向地输送至下位机;料盒(400),所述料盒(400)分别设置在所述输送路径的两侧,用于贮存层叠堆放的光伏太阳能硅片;机械手(500),该机械手(500)安装在机架(100)上并处于所述输送路径的上方,其通过Y轴和Z轴方向的移动,拾取所述料盒(400)的硅片并将其释放至所述输送路径上执行输送,所述机械手(500)还具备硅片分离装置(505),由此在拾取硅片的过程中使得层叠堆放的相邻硅片予以分离以便逐一拾取;电气控制系统(600),该电气控制系统(600)用于对上料设备的整体工况提供相应控制指令;以及根据所述电气控制系统(600)的控制指令对相应功能元件执行驱动的气动模块(700)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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