[实用新型]晶圆环载具

摘要

本实用新型关于一种放置晶圆的载具，其包含有一架体、两挡板及两磁力元件。通过将该磁力元件的外侧面、装设该磁力元件的槽部面向直线通道的面，以及抵靠部面向该直线通道的面相切齐，使晶圆环的撞击力道会平均分散于所述该各相切齐的面，由于该抵靠部的宽度大于该磁力元件的宽度，因此可大幅降低该磁力元件的受力；这样便可使该磁力元件直接接触晶圆环，而由于其受力已被分散，该磁力元件便可避免因晶圆环的撞击而轻易脱落或损坏；最后，该磁力元件直接接触该晶圆环，因此可有效吸附及固定该晶圆环；本实用新型以此达到可稳固吸附晶圆环，并且磁力元件不易损坏的目的。

主权项

一种晶圆环载具，其特征在于，包含有：一架体，其包含有两平行侧板，该两侧板相对的内侧面分别凹设成形有多个晶圆槽，该各晶圆槽上下间隔设置，且该各晶圆槽于该架体的相对两端对外相通；该两侧板之间为一直线通道，该直线通道于该架体的相对两端对外相通；两挡板，其分别垂直固设于该架体的两侧板上，且该两挡板分别位于该直线通道的一端；该各挡板横向依序相接成形有一装设部、一抵靠部及一槽部；该装设部固设于该架体；该槽部上凹设成形有一磁力槽，该磁力槽的开口侧面向该直线通道，该槽部面向该直线通道的面与该抵靠部面向该直线通道的那一面相切齐，该抵靠部的宽度大于该槽部的宽度；所述两挡板均为感磁材质；两磁力元件，其分别装设固定于该两挡板的磁力槽中，该磁力元件的外侧面、该槽部面向该直线通道的面及该抵靠部面向该直线通道的那一面相切齐。