[实用新型]一种用于真空溅镀的靶材有效
| 申请号： | 201220296909.2 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN202705457U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 郑志铭 | 申请（专利权）人： | 浙江柏腾光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 王鹏举 |
| 地址： | 313300 浙江省湖州市安吉县递*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材，尤其涉及一种用于真空溅镀的靶材。一种用于真空溅镀的靶材，所述靶材为金属靶A和金属靶B两两交错固定连接。本实用新型解决了真空溅镀需要两块靶材的成本浪费的问题，用一块靶材达到了两块靶材所达到的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 | ||
【主权项】：
一种用于真空溅镀的靶材，其特征在于，所述靶材为金属靶A（1）和金属靶B（2）两两交错固定连接。
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