[实用新型]一种石墨离子枪档板有效
申请号: | 201220306639.9 | 申请日: | 2012-06-25 |
公开(公告)号: | CN202737820U | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 柯智雄 | 申请(专利权)人: | 台晶(宁波)电子有限公司 |
主分类号: | H03H3/04 | 分类号: | H03H3/04 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人: | 宋缨;孙健 |
地址: | 315800 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种石墨离子枪档板,包括挡板主体,所述挡板主体表面开有两个圆孔,所述挡板主体采用石墨材料制成,所述挡板主体的前端受轰击面高于挡板主体的上表面,所述挡板主体的后端受轰击面高于挡板主体的下表面。本实用新型利用石墨低溅射率、低热膨胀系数、高熔沸点且不易与银屑形成结块的特点,满足了晶振频率自动调整设备上对离子枪档板需要耐氩离子轰击、保护氩离子枪稳定工作的要求,有效增强其使用寿命达4320小时,有效杜绝钼屑与银屑形成的结块引起的氩离子枪短路,增强了氩离子枪工作的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 离子 档板 | ||
【主权项】:
一种石墨离子枪档板,包括挡板主体(1),所述挡板主体(1)表面开有两个圆孔(2),其特征在于,所述挡板主体(1)采用石墨材料制成,所述挡板主体(1)的前端受轰击面(3)高于挡板主体(1)的上表面,所述挡板主体(1)的后端受轰击面(4)高于挡板主体的下表面。
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