[实用新型]基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器有效
| 申请号： | 201220313732.2 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN202614627U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 曹忠;龙姝;周婷;龙文斌;徐雷涛;闫璐璐 | 申请（专利权）人： | 长沙理工大学 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00;G01N11/00;G01N9/04;G01G3/16;G01R27/02;G01R27/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410004 湖南省长沙市雨花区万家*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2)，所述镀钛膜层(2)表面是镀银膜层(3)，所述镀银膜层(3)表面是镀金膜层(4)，形成一种基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器。本实用新型的效果和益处在于所述基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器具有制作简单、成本低廉、灵敏度高、抗腐蚀性和稳定性好等优点，优于传统的石英晶体微天平传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 三层 金属膜 石英 晶体 天平 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2)，所述镀钛膜层(2)表面是镀银膜层(3)，所述镀银膜层(3)表面是镀金膜层(4)，形成一种基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器。
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