[实用新型]一种可拆卸式特气孔有效
| 申请号： | 201220315041.6 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN202688436U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 胡俊涛;孙晨财;范维涛;勾宪芳;宋爱珍;曹华斌 | 申请（专利权）人： | 中节能太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 缪友菊 |
| 地址： | 100041 北京市石景*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种可拆卸式特气孔，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体，所述外露部分为固定在所述圆柱体一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的多边体，该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔；本实用新型可解决工艺过程中沉积的氮化硅对工艺气孔堵塞问题，保证工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可拆卸 气孔 | ||
【主权项】：
一种可拆卸式特气孔，其特征在于，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体，所述外露部分为固定在所述圆柱体一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的多边体，该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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