[实用新型]半导体晶棒成型缸有效
申请号: | 201220315579.7 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN202685051U | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 刘宝成 | 申请(专利权)人: | 河南恒昌电子有限公司 |
主分类号: | B28B3/00 | 分类号: | B28B3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省长葛市黄河大道*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体生产技术领域,涉及晶棒成型机部件,是半导体晶棒成型缸,它包括成型缸本体,所述的成型缸本体是侧边连通有抽真空管、外面设置有加热管,所述的成型缸本体是绝缘材料制成的、具有中通孔的腔体的结构,所述的成型缸本体是陶瓷制成的,所述的腔体截面是方形结构,这样的半导体晶棒成型缸可以安装在成型机上,使这样的成型机具有晶粒产率高、减少浪费、节约成本、操作方便的优点。 | ||
搜索关键词: | 半导体 成型 | ||
【主权项】:
半导体晶棒成型缸,其特征是:包括成型缸本体,所述的成型缸本体是侧边连通有抽真空管、外面设置有加热管,所述的成型缸本体是绝缘材料制成的、具有中通孔的腔体的结构。
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