[实用新型]晶圆清洗刷和晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201220317327.8 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN202698196U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | A46B13/02 | 分类号： | A46B13/02;B08B1/04;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆清洗刷，包括刷盘、第一旋转轴、第一旋转马达以及直线马达，第一旋转马达经第一旋转轴驱动刷盘转动，直线马达驱动所述第一旋转轴作直线位移，刷盘是一直径大于或者等于晶圆的圆盘，圆盘的一个表面上设置有若干刷毛。本实用新型还公开了一种晶圆清洗装置，包括用于吸附晶圆的吸盘、第二旋转轴、第二旋转马达、以及如上的晶圆清洗刷，所述第二旋转马达经第二旋转轴驱动吸盘转动。一方面，由于刷盘上的刷毛可以同时接触晶圆的整个表面，因此，可以提高清洗面积，从而可以一定程度上提高晶圆的清洗效率；另一方面，吸盘和刷盘做反向旋转，从而可以增加刷毛和晶圆的相对速度，进而，可以进一步提高刷毛对晶圆的清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆清 洗刷 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆清洗刷，其特征在于，包括刷盘、第一旋转轴、第一旋转马达以及直线马达，所述第一旋转马达经所述第一旋转轴驱动所述刷盘转动，所述直线马达驱动所述第一旋转轴作直线位移，所述刷盘是一直径大于或者等于晶圆的圆盘，所述圆盘的一个表面上设置有若干刷毛。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220317327.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种剖分式毛刷
- 下一篇：双端面磨床端盖类零件自动倾倒收料设备
