[实用新型]石英坩埚气泡膨胀评价装置有效
申请号: | 201220322287.6 | 申请日: | 2012-07-03 |
公开(公告)号: | CN202735277U | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 刘百明;吴伟华;袁江;李常国;周勇 | 申请(专利权)人: | 杭州先进石英材料有限公司 |
主分类号: | G01N25/16 | 分类号: | G01N25/16;C30B15/10 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 王兵;黄美娟 |
地址: | 310053 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石英坩埚气泡膨胀评价装置,包括具有双层结构的真空钢包、设在所述真空钢包内的加热炉、维持所述真空钢包内所需压力的配气装置和电气控制系统,所述真空钢包中间的夹层内设有水冷腔,所述夹层底端和前端上侧均设有进水孔,顶端和前端下侧均设有出水孔;所述真空钢包底部设有进气孔,顶部设有出气孔,前端设有将所述真空钢包门与真空钢包腔体密封的法兰,后端与所述配气装置连接;所述加热炉炉体内设有加热元件,炉体上端设有温度计;所述电气控制系统分别与所述温度计和配气装置连接。本实用新型方便快捷,能模拟单晶拉制环境,观察石英坩埚透明层气泡膨胀状态;为石英坩埚的质量控制及技术改良提供有效的参考依据。 | ||
搜索关键词: | 石英 坩埚 气泡 膨胀 评价 装置 | ||
【主权项】:
石英坩埚气泡膨胀评价装置,其特征在于:包括具有双层结构的真空钢包、设在所述真空钢包内的加热炉、维持所述真空钢包内所需压力的配气装置和电气控制系统,所述真空钢包中间的夹层内设有水冷腔,所述夹层底端和前端上侧均设有进水孔,顶端和前端下侧均设有出水孔;所述真空钢包底部设有进气孔,顶部设有出气孔,前端设有将所述真空钢包门与真空钢包腔体密封的法兰,后端与所述配气装置连接;所述加热炉炉体内设有加热元件,炉体上端设有温度计;所述电气控制系统分别与所述温度计和配气装置连接。
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