[实用新型]具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备

摘要

本实用新型公开了一种具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备，包括支架和第一配料系统，第一配料系统包括通过管道相接的第一药箱、第一阀门、药水电磁阀、三通接头和喷嘴，以及通过管道相接的纯水箱、第三阀门和纯水电磁阀；纯水电磁阀通过管道与三通接头相接，喷嘴连接二氧化碳气源；连接第一阀门和药水电磁阀的管道与连接第三阀门和纯水电磁阀的管道之间设有第二管道，第二管道上安装有氮气电磁阀；支架上安装有第二配料系统，第二配料系统包括通过管道相接的第二药箱和第二阀门，第二阀门通过管道与连接第一阀门和药水电磁阀的管道相接。本实用新型结构简单，设计合理，双配料系统的使得喷涂设备可连续工作，提高了工作效率。

主权项

一种具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备，包括支架（1）和安装在支架（1）上的第一配料系统，所述第一配料系统包括通过管道依次相接的第一药箱（5）、第一阀门（4）、药水电磁阀（16）、三通接头（20）和喷嘴（17），以及通过管道依次相接的纯水箱（8）、第三阀门（18）和纯水电磁阀（15）；所述第一药箱（5）和纯水箱（8）均设置在支架（1）的顶部，所述纯水电磁阀（15）通过管道与三通接头（20）相接，所述喷嘴（17）通过第一管道（19‑1）连接二氧化碳气源（22），所述第一管道（19‑1）上安装有二氧化碳电磁阀（14）；连接所述第一阀门（4）和药水电磁阀（16）的管道与连接第三阀门（18）和纯水电磁阀（15）的管道之间设置有第二管道（19‑2），所述第二管道（19‑2）上安装有氮气电磁阀（10），所述氮气电磁阀（10）通过管道连接氮气气源（21）；其特征在于：所述支架（1）上安装有第二配料系统，所述第二配料系统包括通过管道相接的第二药箱（7）和第二阀门（23），所述第二阀门（23）通过管道与连接第一阀门（4）和药水电磁阀（16）的管道相接。