[实用新型]一种基于ELO技术的倒装结构发光二极管有效
申请号: | 201220356753.2 | 申请日: | 2012-07-21 |
公开(公告)号: | CN202871848U | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 张杰;蒋建;陈依新 | 申请(专利权)人: | 张杰;蒋建;陈依新 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/46 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 刘萍 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种基于ELO技术的倒装结构发光二极管,属于半导体光电子技术领域。包括有从下往上依次纵向层叠生长的下电极、转移衬底、后置层、电流扩展层、第二限制层、有源区、第一限制层、窗口层,上电极,具体结构如附图2所示。采用了ELO技术,通过一次性湿法腐蚀的办法,将外延生长时用的衬底一次性完整的剥离。本实用新型制作工艺简单,脱落的衬底材料可以重复使用,大大减少了工艺过程中外延材料的浪费,从而节约了成本,给工业生产提供了便利,起到了环境保护的作用。基于ELO技术的倒装结构发光二极管,其光效高,亮度高,工艺重复性好;器件尺寸随亮度需求而灵活变化,相同数量的芯片比较,其产值高,成本低,非常适合于大批量生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 elo 技术 倒装 结构 发光二极管 | ||
【主权项】:
一种基于ELO技术的倒装结构发光二极管,其特征在于,包括有从下往上依次纵向层叠生长的下电极、转移衬底、后置层、电流扩展层、第二限制层、发光单元、第一限制层、窗口层、上电极。
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