[实用新型]多自由度可替换型电极机构

摘要

本实用新型公开了一种多自由度可替换型电极机构，用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极，该电极机构包括传动机构和安装在该传动机构上的多个电极，该传动机构用于使该多个电极的每一个移动到所述电极工作位置。该电极机构还可包括位于所述电极工作位置的下方的调节机构，用于调节处于电极工作位置的电极在垂直方向的位置和倾斜角度。所述传动机构可为履带式结构，其包括主动轮、从动轮和围绕主动轮和从动轮的履带，所述多个电极安装于所述履带上。本实用新型能实现电极在多个自由度的运动，达到不打开放电腔就能调整电极的位置和角度的效果，确保气体激光器的放电腔具有优良的放电性能，延长放电腔的使用寿命。

主权项

一种电极机构，用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极，其特征在于，该电极机构包括传动机构(1)和安装在该传动机构(1)上的多个电极(3)，该传动机构(1)用于使该多个电极(3)的每一个移动到所述电极工作位置。