[实用新型]石墨舟及其石墨舟片

摘要

本实用新型公开了一种石墨舟，包括石墨舟片和连接块，石墨舟片包括间隔设置的若干第一石墨舟片和若干第二石墨舟片，第一石墨舟片的一端设置有第一接线凸耳，第二石墨舟片的一端设置有第二接线凸耳，连接块包括设置在相邻两第一接线凸耳之间的第一连接块及设置在相邻两第二接线凸耳之间的第二连接块。相对现有技术中的石墨舟，本实用新型的每块第一石墨舟片都减少了一个第一接线凸耳，每块第二石墨舟片都减少了一个第二接线凸耳，所以本实用新型石墨舟的重量减轻了，进而加快了石墨舟在加工硅片时的反应速度，增强了镀膜完和烘干后石墨舟的散热能力，提高了冷却速度，缩短了加工时间，提高了生产效率。

主权项

一种石墨舟，包括石墨舟片和连接块，所述石墨舟片包括间隔设置的若干第一石墨舟片和若干第二石墨舟片，其特征在于，所述第一石墨舟片的一端设置有第一接线凸耳，所述第二石墨舟片的一端设置有第二接线凸耳，所述连接块包括设置在相邻两所述第一接线凸耳之间的第一连接块及设置在相邻两所述第二接线凸耳之间的第二连接块。