[实用新型]一种闸门及湿法刻蚀设备有效
| 申请号： | 201220381240.7 | 申请日： | 2012-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN202729999U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 陈小伟;郭坤 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种闸门及湿法刻蚀设备，其中湿法刻蚀设备的闸门，包括两个盖板、位于两个盖板之间的芯板、以及驱动芯板打开或关闭基板通道的驱动装置；其中一个盖板和芯板通过至少一对滑槽和滑轨可滑动连接；驱动装置包括：传动轴、驱动传动轴动作的动力设备、与传动轴同轴固定的至少一个传动齿轮，位于芯板上与每一个传动齿轮啮合的齿条。芯板的位移通过驱动装置的传动轴设有的传动齿轮和设置于芯板的齿条啮合传动实现，由于芯板与驱动装置之间的传动部件结构紧凑，且传动齿轮与齿条之间啮合的关系更加稳定，所以本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门能够增强芯板驱动的稳定性，降低了芯板破损几率，同时避免基板因芯板划伤而造成的工艺不良的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 闸门 湿法 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
一种湿法刻蚀设备的闸门，包括分别具有门缝并通过两个门缝形成基板通道的两个盖板、位于两个盖板之间的芯板、以及驱动所述芯板打开或关闭所述基板通道的驱动装置；其特征在于：其中一个盖板和芯板通过至少一对相互配合的滑槽和滑轨可滑动连接；所述驱动装置包括：传动轴、驱动传动轴动作的动力设备、与传动轴同轴固定的至少一个传动齿轮，位于芯板上与每一个传动齿轮啮合的齿条。
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