[实用新型]一种光学干涉薄片的制备设备有效
申请号: | 201220395192.7 | 申请日: | 2012-08-10 |
公开(公告)号: | CN202766613U | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 张彬贤 | 申请(专利权)人: | 珠海乐通新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/24 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 温旭 |
地址: | 519000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种光学干涉薄片制备方法及其设备,所述制备方法包括:在第一卷绕机构上安装柔性基底材料载体,所述柔性基底材料表面预先涂印有一层可溶性材料;控制所述第一卷绕机构正向转动,使所述柔性基底材料由该第一卷绕机构通过与其相邻的真空封辊、真空腔、另一真空封辊向第二卷绕机构传送卷绕,柔性基底材料通过所述真空内腔时,在其表面镀制第一层薄膜;控制所述第二卷绕机构反向转动,使已镀制第一层薄膜的柔性基底材料顺序通过真空封辊、真空腔、真空封辊向所述第一卷绕机构传送卷绕,柔性基底材料通过所述真空内腔时,在其表面镀制第二层薄膜;依次镀制多层薄膜。本实用新型可连续生产光学干涉薄片,降低生产成本,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 干涉 薄片 制备 设备 | ||
【主权项】:
一种光学干涉薄片制备设备,其特征在于:包括:一光学镀膜机,其内腔抽真空,其二相对的侧面分别设有一真空封辊,所述真空内腔内设有用于喷射镀膜所需粒子的粒子蒸发源;第一卷绕机构及第二卷绕机构,其分别设置于与所述二真空封辊相邻的位置,使得安装于第一或第二卷绕机构上的柔性基底材料可顺序通过一真空封辊、真空内腔及另一真空封辊,从而卷绕于第二或第一所述卷绕机构上;第一卷绕电机及第二卷绕电机,其分别与所述第一、第二卷绕机构连接,正向和/或反向驱动其所对应的卷绕机构转动。
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