[实用新型]一种湿刻设备有效
| 申请号： | 201220397991.8 | 申请日： | 2012-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN202730239U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;张玉军;崔伟;祝杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种湿刻设备，包括：喷头本体；所述喷头本体的第一端具有用于进行机械固定的螺纹部分；所述喷头本体的第二端具有一个凹槽；贯通所述喷头本体的用于输送刻蚀药液的导流道，所述导流道的末端位于所述凹槽中；所述导流道的末端具有一喷射孔。螺纹部分用于固定喷嘴，喷头本体是喷射药液的主要区域，这种结构保证了喷射药液所形成的液面为近似矩形，有效的增大了喷射的面积，减少了在刻蚀过程中药液的使用量，保证了刻蚀的效果，提高了刻蚀的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
一种湿刻设备，其特征在于，包括多个喷嘴，一个所述喷嘴包括：喷头本体；所述喷头本体的第一端具有用于进行机械固定的螺纹部分；所述喷头本体的第二端具有一个凹槽；贯通所述喷头本体的用于输送刻蚀药液的导流道，所述导流道的末端位于所述凹槽中；所述导流道的末端具有一喷射孔。
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