[实用新型]一种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置有效
申请号: | 201220398130.1 | 申请日: | 2012-08-10 |
公开(公告)号: | CN202921106U | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 万烨;严大洲;毋克力;肖荣晖;汤传斌 | 申请(专利权)人: | 中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | B01D46/24 | 分类号: | B01D46/24;C01B33/035 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 宋合成;黄德海 |
地址: | 100038*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置,所述气体过滤装置包括从上至下依次连接的上封头、直筒部和下封头,其中,所述过滤装置的上部设有用于排出过滤后的气体的出气口且下部设有用于排出废渣的排渣口,所述直筒部的下部设有用于向所述直筒内导入待过滤气体的进气口,且所述进气口的上方设有过滤部,所述过滤部包括设有通孔的花盘以及设在所述通孔中的陶瓷滤芯。根据本实用新型的气体过滤装置,由于采用设置有陶瓷滤芯的气体过滤装置,该过滤装置具有耐高温,耐腐蚀的优良特性,不会对多晶硅产品质量造成影响;陶瓷滤芯可以根据过滤精度的要求,生产不同精度的滤芯,且陶瓷滤芯成型简单,价格低廉。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 生产工艺 气体 过滤 装置 | ||
【主权项】:
一种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置,其特征在于,包括从上至下依次连接的上封头、直筒部和下封头,其中,所述过滤装置的上部设有用于排出过滤后的气体的出气口且下部设有用于排出废渣的排渣口,所述直筒部的下部设有用于向所述直筒内导入待过滤气体的进气口,且所述进气口的上方设有过滤部,所述过滤部包括设有通孔的花盘以及设在所述通孔中的陶瓷滤芯。
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