[实用新型]胶片曝光装置有效
申请号: | 201220408290.X | 申请日: | 2012-08-17 |
公开(公告)号: | CN202794848U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 金尾正康;佐藤敬行;冨塚吉博 | 申请(专利权)人: | 株式会社V技术 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 刘宗杰;钟锦舜 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种胶片曝光装置,向胶片状的被曝光体上曝光掩模图形,通过抑制曝光面上产生的褶皱,而在曝光面上形成高精度的图形。确保用于配置对准摄像机的空间。胶片曝光装置(1)包括:胶片运送部(2);光掩模(3);掩模保持部(4),将光掩模(3)保持在被曝光体F的曝光面a上;以及光照射部(5(5A、5B)),向光掩模(3)的掩模图形照射光。光掩模(3)具有沿被曝光体F的运送方向配置的第1掩模图形(31)和第2掩模图形(32)。胶片运送部(2)具有与第1掩模图形(31)和第2掩模图形(32)的位置对应而配置的一对支承辊(21、22),用一对支承辊(21、22)支持曝光第1掩模图形(31)和第2掩模图形(32)的曝光面a的相反一侧的面。在一对支承辊(21、22)之间确保配置对准摄像机6的空间。 | ||
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【主权项】:
一种胶片曝光装置,向胶片状的被曝光体上曝光掩模图形,其特征在于,包括:胶片运送部,沿一个方向运送上述被曝光体;光掩模,被配置在接近上述被曝光体的曝光面上;掩模保持部,将上述光掩模保持在上述被曝光体的曝光面上;以及光照射部,向上述光掩模的掩模图形上照射光;上述光掩模具有沿上述被曝光体的运送方向配置的第1掩模图形和第2掩模图形;上述胶片运送部具有与上述第1掩模图形和上述第2掩模图形的位置对应而配置的一对支承辊,用上述一对支承辊来支持曝光上述第1掩模图形和上述第2掩模图形的曝光面的相反一侧的面。
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