[实用新型]一种冷却装置有效
申请号: | 201220420696.X | 申请日: | 2012-08-23 |
公开(公告)号: | CN202851468U | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 邹蒙;陈智勇 | 申请(专利权)人: | 北京中科科仪股份有限公司 |
主分类号: | F04D29/58 | 分类号: | F04D29/58 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 穆瑞丹 |
地址: | 100190 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种冷却装置,设置在分子泵的泵体上,用于冷却所述泵体及所述泵体内的腔室;所述冷却装置包括冷却管,所述冷却管的两端分别与所述泵体上预置的入口和出口配合,用于通入冷却介质;并且所述冷却管盘设于所述泵体内的同一水平面上。本实用新型提供的冷却装置可靠性高且容易装配。 | ||
搜索关键词: | 一种 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种冷却装置,设置在分子泵的泵体(1)上,用于冷却所述泵体(1)及所述泵体(1)内的腔室(12);所述冷却装置包括,冷却管(2),其两端分别与所述泵体(1)上预置的入口和出口配合,用于通入冷却介质;其特征在于:所述冷却管(2)盘设于所述泵体(1)内的同一水平面上。
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