[实用新型]一种新型的靶材固定装置有效
| 申请号： | 201220425411.1 | 申请日： | 2012-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN202786407U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 潘晓勇;姚国红;刘勇;蒲春华;周朝军 | 申请（专利权）人： | 四川长虹电器股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 詹永斌 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型的靶材固定装置，涉及新工艺应用领域，包括部件B，部件B包括靶材安装板B和靶材B，还包括部件A和部件C，在部件A与部件B之间加入C型连接件1,在部件B与部件C之间加入C型连接件2，通过C型连接件1和C型连接件2将部件A、部件B和部件C连接为一个整体并形成向右倒置的U型装置，其中部件A包括靶材安装板A和靶材A，部件C包括靶材安装板C和靶材C。该装置拆解自如，拆解之后的主体装置对普通的平面真空镀膜零件同样适用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种新型的靶材固定装置，包括部件B，部件B包括靶材安装板B和靶材B，其特征在于：还包括部件A和部件C，在部件A与部件B之间加入C型连接件1,在部件B与部件C之间加入C型连接件2，通过C型连接件1和C型连接件2将部件A、部件B和部件C连接为一个整体并形成向右倒置的U型装置，其中部件A包括靶材安装板A和靶材A，部件C包括靶材安装板C和靶材C。
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