[实用新型]一种快恢复二极管芯片有效

专利信息
申请号: 201220428448.X 申请日: 2012-08-28
公开(公告)号: CN202712192U 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 周明;程万坡;穆连和;张兴杰 申请(专利权)人: 南通明芯微电子有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/861
代理公司: 扬州市锦江专利事务所 32106 代理人: 江平
地址: 226600 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种快恢复二极管芯片,涉及半导体器件的制造技术领域,包括N++结构层,在所述N++结构层的背面设置背面镀膜层,在N++结构层的正面设置N+结构层,在N+结构层的正面设置N-结构层,在N-结构层的正面设置P结构层,在P结构层的正面设置正面镀膜层;在正面镀膜层的两侧设置SiO2层,在P结构层的两侧和N-结构层两侧的局部设置台面,在所述台面的外表面设置玻璃钝化层;所述SiO2层与相应的所述玻璃钝化层相连续。本实用新型可以通过两次磷扩散和一次硼扩散的工艺方法,提高产品的反向恢复特性,使产品的反向恢复时间减小,反向恢复软度大大提高,以进一步提高产品质量,满足用户的需求,扩大产品的使用范围。
搜索关键词: 一种 恢复 二极管 芯片
【主权项】:
一种快恢复二极管芯片,其特征在于包括N++结构层,在所述N++结构层的背面设置背面镀膜层,在N++结构层的正面设置N+结构层,在N+结构层的正面设置N‑结构层,在N‑结构层的正面设置P结构层,在P结构层的正面设置正面镀膜层;在正面镀膜层的两侧设置SiO2层,在P+结构层的两侧和N‑结构层两侧的局部设置台面,在所述台面的外表面设置玻璃钝化层;所述SiO2层与相应的所述玻璃钝化层相连续。
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