[实用新型]用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷有效
申请号: | 201220429499.4 | 申请日: | 2012-08-27 |
公开(公告)号: | CN202860943U | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 何军舫;王军勇 | 申请(专利权)人: | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 |
主分类号: | B08B9/087 | 分类号: | B08B9/087 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 101101 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷,包括钢刷轴,钢刷轴上套设有以钢刷轴为中心轴旋转的钢刷套,所述钢刷套的外壁具有刷齿,所述钢刷轴的端部具有至少两个固定凸起或固定凹槽。所述固定凸起或固定凹槽为三个,呈品字形分布。所述固定凸起呈圆锥形或棱锥形。本实用新型的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷避免了石墨模具随钢刷同时转动的问题,保证了钢刷对模具进行有效的打磨。 | ||
搜索关键词: | 用于 去除 氮化 硼细颈 蒸发 坩埚 石墨 模具 | ||
【主权项】:
用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷,包括钢刷轴,钢刷轴上套设有以钢刷轴为中心轴旋转的钢刷套,其特征在于,所述钢刷套的外壁具有刷齿,所述钢刷轴的端部具有至少两个固定凸起或固定凹槽。
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