[实用新型]一种手动加载晶圆载台的结构

摘要

本实用新型涉及半导体薄膜沉积设备，具体地说是一种手动加载晶圆载台的结构，包括夹子及晶圆载台，其中晶圆载台的外表面沿周向均布有多个夹取槽，所述夹子包括提手、连杆、固定板及夹爪，连杆的一端设有提手，另一端与固定板连接，所述固定板上安装有多个夹爪，该夹爪的一端与固定板相连，另一端向夹子的中心轴线方向弯折、形成爪前端，该爪前端插入所述夹取槽内，通过夹子取放晶圆载台。本实用新型可以实现在晶圆载台未完全冷却的状态下，从沉积工艺腔室内取出和放入晶圆载台，减少冷却的等待时间，增加沉积设备的使用率，并便于拾取晶圆。

主权项

一种手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：包括夹子（1）及晶圆载台（3），其中晶圆载台（3）的外表面沿周向均布有多个夹取槽 （2），所述夹子（1）包括提手（11）、连杆（12）、固定板（13）及夹爪（14），连杆（12）的一端设有提手（11），另一端与固定板（13）连接，所述固定板（13）上安装有多个夹爪（14），该夹爪（14）的一端与固定板（13）相连，另一端向夹子（1）的中心轴线方向弯折、形成爪前端（141），该爪前端（141）插入所述夹取槽（2）内，通过夹子（1）取放晶圆载台（3）。