[实用新型]用于打印多层图案的方法及设备有效
| 申请号： | 201220435947.1 | 申请日： | 2012-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN203019839U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 托马索·沃尔克斯;恩里科·波斯克罗·马尔奇 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | B41M1/12 | 分类号： | B41M1/12 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于打印多层图案的方法及设备。在一个实施例中，一种用于打印多层图案的方法包括：第一打印操作，包括将第一图案化层沉积在衬底的表面的区域上；第二打印操作，包括将第二图案化层沉积在所述表面的所述区域上或所述第一图案化层上；并且检验所述第二图案化层相对于所述第一图案化层的对准的精确性。所述检验步骤包括：在所述第一打印步骤之后获取所述第一图案化层的第一光学影像；在所述第二打印步骤之后获取所述第二图案华层的第二光学影像；并且通过执行影像消除处理来形成第一消除光学影像，并且将第一消除光学影像与第一影像进行比较，来确定所述第二图案化层的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 打印 多层 图案 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于在衬底上打印多层图案的设备，包括： 第一打印站，用于将第一图案化层打印在衬底上； 第一装置，用于将所述第一图案化层与衬底的区域对准； 至少一个第二打印站，用于将第二图案化层打印在所述第一图案化层上； 至少一个控制装置，用于在打印所述第二图案化层之后检验所述对准的精确性，并用于将从精确性检验而获得的数据反馈至所述至少一个装置以用于对准，其中所述控制装置还包括： 检测组件，用于在打印所述第二层之前获取所述第一图案化层的第一光学影像，以及在所述第一图案化层上打印的所述第二图案化层的第二光学影像；以及 控制单元，用于通过所述第二光学影像与所述第一光学影像之间的影像消除来执行影像计算，以确定所述第二图案化打印层在所述衬底上的实际位置，其中，所述控制单元还用于将所述影像计算的结果反馈至品质控制站。
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