[实用新型]一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵

摘要

本实用新型公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵，包括下泵体（1）、依次压叠在下泵体（1）上的基片（6）和上泵体（9），基片（6）上侧镀有正磁致伸缩效应的薄膜（8），下侧镀有逆磁致伸缩效应的薄膜（12）；基片（6）的底面与下泵体构成泵腔体（4）和阀腔体（11），泵腔体（4）与阀腔体（11）通过通孔连通；泵腔体连接有进液管道（3），阀腔体连接有出液管道（13），并分别设有悬臂梁阀结构的阀膜；泵体外设有线圈架（5），线圈架（5）上饶有驱动线圈（7），具有磁致伸缩效应的薄膜在磁场的作用下带动基片（6）上下摆动，压迫泵腔体（11）内的液体产生单一方向的循环流动。本实用新型微型泵具有输出压力大，驱动频率高、可控性强等特点。

主权项

一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵，其特征是包括下泵体（1）、依次压叠在下泵体（1）上的基片（6）和上泵体（9），所述基片（6）上侧镀有正磁致伸缩效应的薄膜（8），下侧镀有逆磁致伸缩效应的薄膜（12）；基片（6）的底面与下泵体构成泵腔体（4）和阀腔体（11），泵腔体（4）与阀腔体（11）通过通孔连通；所述泵腔体连接有进液管道（3），所述阀腔体连接有出液管道（13），进液管道（3）与泵腔体（4）连通处设有进液阀膜（2），进液阀膜（2）通过一端粘接在泵腔体内壁上形成悬臂梁阀结构；所述阀腔体（11）与泵腔体（4）连通处设有出液阀膜（10），出液阀膜（10）通过一端粘接在阀腔体内壁上形成悬臂梁阀结构；所述泵体外设有线圈架（5），线圈架（5）上饶有驱动线圈（7）。