[实用新型]一种悬浮粒子检测装置有效
| 申请号： | 201220446079.7 | 申请日： | 2012-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN202793992U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 徐涛 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/14 | 分类号： | G01N15/14 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种悬浮粒子检测装置，包括：光源、摄像单元以及检测结果输出单元；所述光源用于向悬浮粒子待测区域发射光线；所述摄像单元用于实时获取待测区域内悬浮粒子的图像，并将所述图像发送给所述检测结果输出单元；所述检测结果输出单元用于根据所述摄像单元发送的图像实时输出悬浮粒子检测结果。本实用新型所述悬浮粒子检测装置不受工艺设备结构及设置位置的制约，且能够实时、有效地检测工艺设备内部以及机台工作面上的悬浮粒子的浓度情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬浮 粒子 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种悬浮粒子检测装置，其特征在于，包括：光源、摄像单元以及检测结果输出单元；所述光源用于向悬浮粒子待测区域发射光线；所述摄像单元用于实时获取待测区域内悬浮粒子的图像，并将所述图像发送给所述检测结果输出单元；所述检测结果输出单元用于根据所述摄像单元发送的图像实时输出悬浮粒子检测结果。
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