[实用新型]光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机有效

专利信息
申请号: 201220448218.X 申请日: 2012-09-05
公开(公告)号: CN202815411U 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: 倪国东 申请(专利权)人: 长春荣德光学有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 代理人: 石岱
地址: 130033 吉林省*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 实用新型涉及一种曝光设备,具体的说是一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机。该曝光机包括机架、遮光罩、电控箱体、丝杠、柱面体棱镜、高压紫外线汞灯、灯盒、丝杠支撑座、导轨、透光支撑玻璃板和散热风扇,本实用新型主要解决光栅尺和高脉冲光学码盘码道透光和不透光比例不均匀问题,同时解决曝光长尺和一次多件曝光问题,提供一种结构简单合理、可实现高脉冲码盘的大批量生产,降低费品率,工作效率高。
搜索关键词: 光栅尺 光学 专用 高精度 高效率 曝光
【主权项】:
一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机,其特征在于:该曝光机包括机架(1)、遮光罩(2)、电控箱体(3)、丝杠(4)、柱面体棱镜(5)、高压紫外线汞灯(6)、灯盒(7)、丝杠支撑座(8)、导轨(9)、透光支撑玻璃板(10)和散热风扇(11),所述的遮光罩(2)罩在机架(1)的外面,所述的透光支撑玻璃板(10)水平设置在机架(1)的台面上,在机架(1)上的两根平行导轨(9)设置在透光支撑玻璃板(10)的下方,机架(1)上的丝杠(4)设置在两根平行导轨(9)的中间,丝杠支撑座(8)与丝杠(4)螺纹连接,在丝杠支撑座(8)上设置有两个立柱(12),连接灯盒(7)的高压紫外线汞灯(6)设置在两个立柱(12)之间,柱面体棱镜(5)设置在两个立柱(12)的上面,且在以紫外线汞灯(6)为焦点的位置上,散热风扇(11)设置在高压紫外线汞灯(6)的侧面。
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