[实用新型]一种化学品供应系统有效
| 申请号： | 201220461950.0 | 申请日： | 2012-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN202915050U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 简建至;胡厚福 | 申请（专利权）人： | 冠礼控制科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 杨军 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区外高桥保*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统，包括供应柜部分和管路部分，所述供应柜部分通过管路部分连接化学品用户端，所述供应柜部分包括桶槽（1）、泵（2）和过滤器（3），所述管路部分包括管路（4）和阀箱（5），所述桶槽（1）、泵（2）、过滤器（3）、阀箱（5）通过管路（4）相连；本实用新型同现有技术相比，不仅结构新颖、简单，运行稳定、可靠，操作起来也非常方便，而且由于在该化学品供应系统中设有监控部分，并在该监控部分中设置了泄漏侦测器，从而可以尽快地发现问题并及时地解决问题,给现场操作人员的生命安全带来了保障，最终最大限度地保证了现场人员的人身安全，其安全系统非常高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学品 供应 系统 | ||
【主权项】：
一种化学品供应系统，包括供应柜部分和管路部分，所述供应柜部分通过管路部分连接化学品用户端，其特征在于：所述供应柜部分包括桶槽（1）、泵（2）和过滤器（3），所述管路部分包括管路（4）和阀箱（5），所述桶槽（1）、泵（2）、过滤器（3）、阀箱（5）通过管路（4）相连。
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