[实用新型]加热器供电电路有效
| 申请号： | 201220465239.2 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN202796848U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 陈妙娟;梁洁;罗伟义;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/24 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张龙哺;冯志云 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种加热器供电电路，用于等离子体处理设备中加热静电卡盘，静电卡盘位于等离子体处理设备的反应腔室中，用于固定待加工件，等离子体处理设备外接有一射频电源，其包括至少一种频率的电信号，用于向反应腔室施加射频功率，加热器供电电路包括：加热器，用于加热待加工件；交流电源，与加热器连接并用于向加热器供电；及多个电感器，与加热器串接，每个电感器屏蔽特定频率的电信号作用于加热器供电电路而产生的泄漏电流。其既能提高加热器的供热效率，又能防止RF功率从该电路中泄漏，有助于等离子体处理工艺的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 供电 电路 | ||
【主权项】：
一种加热器供电电路，用于等离子体处理设备中加热静电卡盘，所述静电卡盘位于所述等离子体处理设备的反应腔室中，用于固定待加工件，所述等离子体处理设备外接有一射频电源，其包括至少一种频率的电信号，用于向所述反应腔室施加射频功率，所述加热器供电电路包括：加热器，用于加热所述待加工件；交流电源，与所述加热器连接并用于向所述加热器供电；及多个电感器，与所述加热器串接；其特征在于，每个所述电感器屏蔽特定频率的所述电信号作用于所述加热器供电电路而产生的泄漏电流。
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