[实用新型]一种NbZr10合金靶板有效
| 申请号： | 201220466236.0 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN202881376U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 李玉儒;马小红;张伟峰 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市亨信稀有金属有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 涂秀清 |
| 地址： | 721013 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种应用于真空镀膜行业中的NbZr10合金靶板，NbZr10合金靶板由若干块相同的靶板块沿纵向依次相贴合构成，其中每个靶板块正面的纵向中轴线上开设有若干个紧固孔和若干个定位孔，通过紧固孔和定位孔将每个靶板块定位并固定在背板上，完成NbZr10合金靶板的拼接制作及安装固定，在满足NbZr10合金靶板绑定安装及使用技术要求的同时降低了NbZr10合金靶板的制造难度及成本，解决了NbZr10合金靶板因规格尺寸较大而难以制造的技术难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 nbzr10 合金 | ||
【主权项】：
一种NbZr10合金靶板，其特征在于，NbZr10合金靶板由若干块相同的靶板块沿纵向依次相贴合构成，其中每个靶板块由正面和背面构成，其中正面的纵向中轴线上开设有若干个紧固孔和若干个定位孔，背面纵向中轴线上开有通槽。
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