[实用新型]滚花装置有效
| 申请号： | 201220469685.0 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN203004917U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;汪涛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B44B5/02 | 分类号： | B44B5/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种滚花装置，包括：液压装置和滚花刀架；所述液压装置包括：液缸，位于所述液缸外的第一活塞、位于所述液缸内的第二活塞、连接第一活塞和第二活塞的活塞杆；在滚花装置工作时所述第一活塞推抵所述滚花刀架。应用本实用新型的滚花装置，可以使聚焦线圈表面的滚花图案均匀，从而减少附着在聚焦线圈表面的部分溅射材料原子掉落至基板上，从而影响成膜质量。另外，提高聚焦线圈的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种滚花装置，其特征在于，包括： 液压装置和滚花刀架； 所述液压装置包括：液缸，位于所述液缸外的第一活塞、位于所述液缸内的第二活塞、连接第一活塞和第二活塞的活塞杆； 在滚花装置工作时所述第一活塞推抵所述滚花刀架。
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