[实用新型]一种晶圆切割机去离子水流量报警装置有效
| 申请号： | 201220474915.2 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN202764041U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 董安意;曹石彬 | 申请（专利权）人： | 佛山市蓝箭电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;G01F1/52 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 艾持平 |
| 地址： | 528051 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆切割机去离子水流量报警装置，包括有塑料壳体，壳体内有一上下贯通的腔道、腔道两端设有管接头，管接头分别与去离子水的管路连通，其特征在于：所述的腔道内放置有受水冲击可上移的磁钢块，而壳体内、腔道旁侧形成有一独立的安装槽，安装槽内放置有磁控感应开关，磁控感应开关的信号线与晶圆切割机控制系统连接，这样的设计，利用水流作为感应产生信号，简单而又直接地完成对设备的监控，无需复杂、昂贵的装置，具有结构精巧简单，可靠性高，易于维护，便于推广应用等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 离子水 流量 报警装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆切割机去离子水流量报警装置，包括有塑料壳体，壳体内有一上下贯通的腔道、腔道两端设有管接头，管接头分别与去离子水的管路连通，其特征在于：所述的腔道内放置有受水冲击可上移的磁钢块，而壳体内、腔道旁侧形成有一独立的安装槽，安装槽内放置有磁控感应开关，磁控感应开关的信号线与晶圆切割机控制系统连接。
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