[实用新型]一种微型非接触五坐标测量机

摘要

本实用新型公开了一种微型非接触五坐标测量机，包括底座、立柱、第一直动机构、第二直动机构、第三直动机构、第一回转机构以及第二回转机构；所述第一回转机构的下方设置有横梁，第二回转机构悬挂在横梁的下方，且第一、二回转机构通过横梁与立柱固定连接；所述第二回转机构上设置有复合测头，并使复合测头悬于第二直动机构的上方。本实用新型非接触式测量机采用五轴联动的测量方式，使复杂零件的三维几何要素得到有效的测量。由于工作台只做两个方向的直线运动，使得测量任务更容易的实现，并且具有反向自锁、传动精度高、传动比大的功能，扭簧的应用消除了涡轮蜗杆之间的传动侧隙，使得蜗轮蜗杆驱动测头做高精度无侧隙的回转测量运动。

主权项

一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：包括底座（16）、立柱（17）、带有导轨滑块组合的X轴、Y轴、Z轴直动机构（14、19、11）以及水平、竖直回转机构（4、7）；所述X轴直动机构（14）安装在底座（16）上，Z轴直动机构（11）设置在X轴直动机构（14）的滑块上，Y轴直动机构（19）固定在立柱（17）上，且立柱（17）固定在底座（16）上；所述水平回转机构（4）的下方固定连接有横梁（5），所述横梁（5）上设置有连接轴（211），竖直回转机构（7）通过连接轴（211）悬挂在横梁（5）的下方，且横梁（5）的末端与立柱（17）固定在一起；所述竖直回转机构（7）上连接有复合测头（6），复合测头（6）通过水平回转机构（4）与竖直回转机构（7）的配合，悬于Z轴直动机构（11）的上方。