[实用新型]金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置

摘要

金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置,手套箱底板上设有波纹管，波纹管底端与升降板密封连接，升降板上表面依次与连接套、旋转座、石墨盘支撑和石墨盘连接，压缩或者拉伸波纹管以使石墨盘跟随升降板上升或者下降，手套箱的底板上设有一机械臂滑动导轨与石墨盘中转装置,机械臂旋转轴安装在机械臂滑动导轨上，机械臂旋转轴的顶端装有机械臂悬臂杆，机械臂夹取爪安装在机械臂悬臂杆的前端，机械臂由外部动力装置驱动。本实用新型的优点是利用机械臂转移石墨盘，机械臂的组成简单，成本低廉。在保证整个腔体密封性的同时升高石墨盘，机械臂沿导轨滑动到合适位置，通过夹取、转移石墨盘的方式，将石墨盘移出反应腔，操作方便、提高了效率。

主权项

一种金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置,包括:机械臂、手套箱（1）、喷淋盘（2）、喷淋盘导柱（3）、整流罩（7）、升降板导柱（8）、波纹管（9）、升降板（10）、连接套（11）、底座基体（13）、旋转座（14）、石磨盘支撑（15）、石墨盘（16）、石墨盘中转装置（17），机械臂由机械臂夹取爪（4）、机械臂旋转轴（5）、机械臂悬臂杆（18）和机械臂滑动导轨（6）组成，喷淋盘（2）经喷淋盘导柱（3）设置在手套箱（1）内，其特征在于所述手套箱（1）底板上设有一孔，底座基体（13）固定在手套箱（1）的底板开孔位置的箱体里面，整流罩（7）固定在底座基体（13）上，波纹管（9）的顶端和手套箱（1）的底板开孔位置的箱体密封连接，其底端与升降板（10）密封连接，升降板（10）上表面依次与连接套（11）、旋转座（14）、石墨盘支撑（15）和石墨盘（16）连接，升降板（10）由外部动力驱动沿升降板导柱（8）上下移动，旋转座（14）、石墨盘支撑（15）和石墨盘（16）都设置在手套箱（1）内，手套箱（1）的底板上设有一机械臂滑动导轨（6）与石墨盘中转装置（17），机械臂旋转轴（5）安装在机械臂滑动导轨（6）上，机械臂旋转轴（5）的顶端装有机械臂悬臂杆（18），机械臂夹取爪（4）安装在机械臂悬臂杆（18）的前端，机械臂由外部驱动源驱动。