[实用新型]传送部件

摘要

本实用新型提供一种传送部件，至少包括多个圆台防滑栓、传送部件本体和固定盘，其中，所述传送部件本体包括一平板部、开设于所述平板部上用于容置机械手的凹槽部、以及设置在所述凹槽部外平板部中的与所述圆台防滑栓相匹配的多个通槽，且所述通槽的深度略小于该圆台防滑栓的高度。与现有的传送部件相比较，本实用新型传送部件中发挥防滑作用的为圆台防滑栓，该圆台防滑栓略高于传送部件本体表面，用于直接与已对准的晶圆相接触，在传送部件频繁上下移动中，在防止晶圆在传送部件上相对位移的同时，有效避免了圆台防滑栓从传送部件本体的上表面弹出的现象，降低了圆台防滑栓与晶圆碰撞而损伤晶圆的几率，保证了化学气相沉积设备的正常运转。

主权项

一种传送部件，其特征在于，所述传送部件至少包括：多个圆台防滑栓，其上表面用于与晶圆相贴合；传送部件本体，包括一平板部、开设于所述平板部上用于容置机械手的凹槽部、以及设置在所述凹槽部外的平板部中的多个通槽，其中，所述通槽与所述圆台防滑栓相匹配且供所述圆台防滑栓从平板部下表面嵌入，且所述通槽的深度略小于该圆台防滑栓的高度；固定盘，固定贴合于所述传送部件本体的平板部的下表面，且同时与所述圆台防滑栓的下表面相贴合。