[实用新型]一种用于光刻机的楔形板组的胶合夹具有效
| 申请号： | 201220502683.7 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN202837811U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋泉权;魏向荣;顾亚平 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B32B37/12 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于光刻机的楔形板组的夹具，包括夹具体底座，该夹具体底座的四周分别设有楔板基准靠边，该夹具体底座的相邻两边外侧还分别设有弹簧和定位销。本实用新型利用单点金刚石主轴的C轴分度功能编制2至3轴联动可在圆柱面和球面上实现刨削成型加工，具有对异形工件精密加工的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 楔形 胶合 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机的楔形板组的夹具，其特征在于，该夹具包括夹具体底座（4），该夹具体底座（4）的四周分别设有楔板基准靠边（5），该夹具体底座（4）的相邻两边外侧还分别设有弹簧（7）和定位销（8）。
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