[实用新型]一种防硅片错位的扩散石英舟有效
| 申请号： | 201220502719.1 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN202749355U | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 陈思太;盛春芳;周涛 | 申请（专利权）人： | 淄博晨启电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C30B31/14 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 宋玉霞 |
| 地址： | 255300 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扩散石英舟，具体的涉及一种防硅片错位的扩散石英舟。该种防硅片错位的扩散石英舟，包括舟体，其特征在于，所述舟体内设有若干个挡板，该挡板包括若干石英片；所述挡板为中间低两端高；所述舟体底部纵向一侧的外表面上固定有支撑结构。该种扩散石英舟既解决高温纸源扩散后硅片发生较大错位后难以从扩散舟内取片的问题；又解决了高温纸源扩散后用来定位的石英棒易变形断裂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 错位 扩散 石英 | ||
【主权项】：
一种防硅片错位的扩散石英舟，包括舟体，其特征在于，所述舟体内设有若干个挡板，该挡板包括若干石英片；所述挡板为中间低两端高；所述舟体底部纵向一侧的外表面上固定有支撑结构。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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