[实用新型]一种单晶炉装置有效
| 申请号： | 201220510549.1 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202849589U | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 昝武;苏金玉;李建帅;战永强;李仪成 | 申请（专利权）人： | 特变电工新疆新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶炉装置，包括炉体，所述炉体内包括有坩埚(10)和设于所述坩埚上方的第一导流筒(7)，其中，炉体内还包括有一个中空的直筒(4)，所述直筒的上端面设置在炉体的炉勃口(2)处，其下端面设置在所述第一导流筒的上方或设置在与所述第一导流筒上端面的高度平齐的位置。使用此装置所生产得到单晶硅的碳氧杂质含量较低且少子寿命值高，从而能够提高单晶硅的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶炉装置，包括炉体，所述炉体内包括有坩埚(10)和设于所述坩埚上方的第一导流筒(7)，其特征在于，炉体内还包括有一个中空的直筒(4)，所述直筒的上端面设置在炉体的炉勃口(2)处，其下端面设置在所述第一导流筒的上方或设置在与所述第一导流筒上端面的高度平齐的位置。
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