[实用新型]管式炉管定位加工装置

摘要

本实用新型公开了一种管式炉管定位装置。为了解决等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）等设备中使用的管式系统的加热装置的加工问题，所述管式炉管定位装置包括两个法兰，在两个法兰之间设有支撑盘，所述两个法兰和支撑盘通过连接杆连接一起；所述法兰、支撑盘和连接杆之间具有容纳管式炉的空间。本实用新型通过其保证炉管生产中的直线度、圆度，同时缩短工艺过程，达到了提升生产效率与提高产品质量的目的。

主权项

一种管式炉管定位装置，其特征在于，包括两个法兰（1），在两个法兰（1）之间设有支撑盘（3），所述两个法兰（1）和支撑盘（3）通过连接杆（2）连接一起；所述法兰（1）、支撑盘（3）和连接杆（2）之间具有容纳管式炉的空间。